Лекция: Класифікація тензорезисторів

Фольгові тензорезистори — це тонка стрічка з фольги товщиною 0,01...0,02 мм, на якій частина матеріалу вибрана (наприклад, травлен­ням) так, що та її частина, котра залишилась, утворює плоску решітку з виводами. Ця решітка закріплюється між двома плівками з лаку.

Поширені також плівкові тензорезистори, в яких тензочутливий елемент наноситься методом вакуумної сублімації (перегону) з подальшою конденсацією на плівку. Для виготовлення плівкових тензо­резисторів застосовуються як металеві (наприклад, титаноалюмінієвий сплав), так і напівпровідникові (германій, кремній) матеріали.

Навісні тензорезистивні перетворювачі мають дротяний тензо­чутливий елемент у вигляді струни чи декількох струн, натягнених між двома планками, відносне переміщення яких є вхідною величиною.

Напівпровідникові монокристалічні тензорезистори виготовля­ються головним чином з германію та кремнію, які мають кубічну кристалічну ґратку. Тензочутливість напівпровідни­кового тензорезистора залежить від орієнтації його чутливого елемента відносно кристалографічних напрямків.

Характерною особливістю напівпровідникових тензорезисторів є те, що характер функції перетворення за інших однакових умов зале­жить від питомого електричного опору тензорезистора. Нелінійність функції перетворення найменше проявляється в матеріалах з малим питомим електричним опором.

У серійних тензорезисторах застосовують здебільшого кремній.