Реферат: Свойства сплавов кремний-германий и перспективы Si1-xGex производства

--PAGE_BREAK--Часть 1. Свойства сплавов SiGe Фазовая диаграмма системы кремний-германий
Кремний и германий являются химическими аналогами. Оба этих элемента кристаллизуются в алмазоподобную структуру. Тип химической связи у них схож, как и размерный фактор (постоянная решетки Siравна 5,44 A, Ge– 5,66 A). Столь высокое сходство этих элементов позволяет им образовывать непрерывный ряд твёрдых растворов по принципу изовалентного замещения, свойства которых непрерывно меняются.

<img width=«298» height=«283» src=«ref-1_557362783-12758.coolpic» v:shapes="_x0000_s1026">


Энтальпия смешения для системы Ge-Si положительна и составляет приблизительно 2,2 ккал/моль. Это означает, что для пары германий-кремний корректно приближение регулярных растворов. Хотя прецизионные исследования и показывают тенденцию к расслоению при низких температурах, но явного распада не обнаружено. Видимо, это связано с небольшой энтальпией смешения и малой диффузионной подвижностью атомов при низкой температуре.

Постоянная решетки сплавов германий-кремний от состава по данным рентгеноструктурного анализа меняется практически линейно (закон Вегарда), обнаруживая слабое отрицательное отклонение. Кривая проходит ниже линейной зависимости. Это свидетельствует о том, что раствор германий-кремний близок к идеальному раствору, и превалирующим факторам в изменении параметра решетки является размерный фактор.

Подобные данные, равно как и характер зависимости прочности от состава, плотности от состава и т.п. делают возможным довольно точное предсказание характеристик сплавов германия и кремния в зависимости от содержания в них составляющих сплав элементов.

Параметры решётки и ширина запрещённой зоны сплавов SiGe
Для изучения зависимости постоянной решётки, плотности и ширины запрещённой зоны авторами [1] была приготовлена серия германиево-кремниевых сплавов путём гомогенизации при высокой температуре. Проверка сплавов на гомогенность осуществлялась рентгенографическим методом, а химический состав определялся путём анализа на германий полярографическим методом, дающим, если кремний является единственной примесью, точность не хуже 1%.

Ширина запрещенной зоны определялась оптическим методом на образцах, имеющих одинаковую толщину, равную 0,50 мм. Ширина запрещенной зоны была принята равной энергии, соответствующей величине поглощения, которой обладает германий при принятой ширине запрещенной зоны (0,72 ЭВ). В этой точке коэффициент абсорбции был равен 22,7 см-1. Все абсорбционные кривые имели наклон, подобный наклону кривой для чистого германия. Хотя наклон этих кривых, полученных для поликристаллических образцов, несколько отличается от кривых для монокристаллических образцов, было получено достаточное количество данных на поликристаллических образцах, показывающих, что общий вид кривой, приведенной на рис.2 заметно не изменился бы, если все эти данные были бы получены на монокристаллических образцах.

Составы сплавов и их параметры приведены в табл.1.
<img width=«288» height=«355» src=«ref-1_557375541-22484.coolpic» v:shapes="_x0000_s1028"> <img width=«288» height=«312» src=«ref-1_557398025-16432.coolpic» v:shapes="_x0000_s1027">





Табл.1  Составы сплавов и их параметры.



Обозначение

сплава



Плотность



Постоянная решётки



Мол % кремния

Ширина запрещённой зоны, ЭВ

GS-23

2,80

5,461

85,8

1,15

OS-25

2,72

5,454

87,4

1,16

GS-26

3,03

5,473

75,7

1,13

GS-29

3,62

5,518

57,5

1,08

GS-30

3,95

5,549

44,3

1,05

GS-31

4,86

5,620

15,0

0,94

GS-34

4,89

5,613

13,5

0,93

GS-37

4,70

5,593

22,9

0,94

D-28

—

—

7,2

0,83

D-31

—

—

4,3

0,78

D-39

—

—

6,0

0,81

D-40-G

—

5,626

12,6

0,91

D-40-S

—

—

4,2

0,78

D-40-T

—

—

7,4

0,82

D-41

—

—

8,2

0,84

200-S

—

—

0,7

0,73

Ge

5,323

5,657

—

0,72

Si

2,328

5,434

—

1,20


    продолжение
--PAGE_BREAK--В дальнейшем эти измерения были неоднократно проверены и подтверждены другими авторами, причём для сплавов, полученных самыми различными методами (выращивание из расплавов методом Чохральского, бестигельной зонной плавкой и др.).
Электрические свойства SiGe сплавов


Сплавы, которые исследовал Levitas[2], были приготовлены методом изотермической кристаллизации и не подвергались термообработке. Концентрация примесей в них не превышала 1014 ат/см2. Образцы, кроме содержащих 1% и 4% Si, были поликристаллическими. Измерения удельного сопротивления проводились в интервале температур [300.800] K, эффекта Холла в диапазоне [77..300] K. Были проведены также измерения для проверки зависимости ширины запрещённой зоны от состава сплавов.

Данные были скомбинированы между собой для получения зависимости Холловской подвижности от температуры, при этом была обнаружена аномальная зависимость подвижности от температуры для сплавов с 61% и 72% Si. Вблизи 300 Kкривые могут быть неплохо приближены отношением

<img width=«71» height=«24» src=«ref-1_557414457-260.coolpic» v:shapes="_x0000_i1025">.

Кривые собственного сопротивления могут быть представлены законом

<img width=«108» height=«43» src=«ref-1_557414717-371.coolpic» v:shapes="_x0000_i1026">

<img width=«174» height=«465» src=«ref-1_557415088-19202.coolpic» v:shapes="_x0000_s1030"> <img width=«262» height=«250» src=«ref-1_557434290-14405.coolpic» v:shapes="_x0000_s1029"> <img width=«268» height=«211» src=«ref-1_557448695-12313.coolpic» v:shapes="_x0000_s1031">



*) излом зависимости ширины запрещённой зоны (и собственного удельного сопротивления) от состава сплава Levitasсгладил при аппроксимации зависимостей.


Было показано, что зависимость удельного сопротивления от ширины запрещённой зоны не всегда очевидна, так как зонная структура сплавов не меняется линейно в зависимости от состава и присутствует аномальное рассеивание, обусловленное легированием.

<img width=«264» height=«238» src=«ref-1_557461008-16379.coolpic» v:shapes="_x0000_s1032"> <img width=«252» height=«198» src=«ref-1_557477387-11999.coolpic» v:shapes="_x0000_s1033"> <img width=«252» height=«231» src=«ref-1_557489386-15828.coolpic» v:shapes="_x0000_s1034">



<img width=«252» height=«237» src=«ref-1_557505214-44497.coolpic» hspace=«12» v:shapes="_x0000_s1035">



Чтобы проверить существование рассеяния, обусловленного легированием, была исследована высокотемпературная часть кривых подвижности (см. рис. 6). В этом интервале (около 300 К) значительно снижается влияние примесей и границ зёрен. На полученных зависимостях заметны аномалии в областях концентраций Siболее 60 ат%.

<img width=«235» height=«252» src=«ref-1_557549711-15543.coolpic» v:shapes="_x0000_s1037"> <img width=«208» height=«252» src=«ref-1_557565254-14752.coolpic» v:shapes="_x0000_s1036">


 


Твёрдость кремний-германиевых сплавов при 300К
Как кремний, так и германий – элементы IVгруппы, оба они имеют структуру алмаза и являются химическими аналогами друг друга. Параметры решётки сплавов следуют закону Вегарда лишь с малым отклонением в сторону меньших значений.

Твердость сплавов, а также чистого германия и чистого кремния определялась на приборе для измерения микротвердости типа Лейтца (Durimet). На рис. 1, 2 показаны микрофотографии с отпечатками, полученными при нагрузке 100 г. Отпечатки на рис. 2 были получены с помощью индентора Кнупа, который обычно не оставляет трещин. Это справедливо для любого материала — германия, кремния или германиево-кремниевого сплава. В то же время отпечатки, полученные индентором Виккерса в форме алмазной пирамиды, всегда имеют трещины в углах отпечатка (см. рис. 1). Трещины не обязательно образуются в процессе испытания: по крайней мере в одном случае трещины появились примерно через 2 секунды после снятия нагрузки [3].

При измерениях нагрузка выше 100 г вызывала растрескивание и скалывание, из-за которых трудно или невозможно проводить измерения, поэтому для всех образцов нагружение 100 г было зафиксировано и принято за эталон. Время приложения нагрузки также было фиксировано и равно 15 секундам. Исследуемые поверхности травились в водном растворе HNO3 и HF.

<img width=«240» height=«237» src=«ref-1_557580006-11754.coolpic» v:shapes="_x0000_s1038"> <img width=«227» height=«228» src=«ref-1_557591760-9133.coolpic» v:shapes="_x0000_s1039"> <img width=«151» height=«204» src=«ref-1_557600893-10172.coolpic» v:shapes="_x0000_s1040">



Значения твёрдости для каждого из сплавов имеют большой разброс, поэтому приводится среднее из не менее 6 измерений. Тот факт, что твёрдость изменяется линейно вместе с составом, позволяет предположить, что твёрдость сплава пропорциональна числу имеющихся связей разного рода.

    продолжение
--PAGE_BREAK--