Реферат: Создание методов проектирования вакуумного оборудования исключающего трение движения и предназначенного для работы в области микро и наноэлектроники и других высоких технологий Деулин Евгений Алексеевич

Создание методов проектирования
вакуумного оборудования
исключающего трение движения
и предназначенного для работы в области
микро и наноэлектроники и других высоких технологий)


Деулин Евгений Алексеевич,

доктор технических наук, профессор кафедры МГТУ им. Баумана

В работе приведена система взглядов и новых идей, лежащих в основе создания перспективного вакуумного оборудования, на базе элементов. минимизирующих трение скольжения, и исключающих фрикционные механизмы, что устраняет причины «наводораживания», охрупчивания и разрушения вакуумных механизмов. Авторами разработаны и экспериментально подтверждены: теория газообмена в парах трения, теория атомно-молекулярного взаимодействия при сухом трении; теория газопроницаемости тонких металлических оболочек,

Разработанная авторами новая система взглядов на принципы конструирования вакуумного оборудования, внедрение его в промышленность, в оснащение научно- исследовательских организаций закреплены 4 стандартами на принципиально новые сверхвысоковакуумные механизмы, разработанные под руководством Е.А.Деулина (ОСТ.11ПО.426.000-72, ОСТ 11.426.001-76, ОСТ 11.448.001-78, СТП дЕ 23-80) а также 2 стандартами на методы расчёта вакуумного оборудования (Метод Определения Долговечности-ОСТ 11.091.428-80 и Метод Прогнозирования Газовыделения из Узлов Трения- СТП еТ.001-86), созданные Е.А.Деулиным, рис. 1.2,3



рис. 1





рис. 2

рис. 3