Реферат: Рассматривается напряженно-деформированное состояние в кварцекристаллическом чувствительном элементе (ЧЭ) пьезорезонансного датчика давления

УДК 551(06) Математическое моделирование физических процессов

В.Н. СИМОНОВ, Н.Л. МАТИСОН

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»


МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПРЯЖЕННОГО

СОСТОЯНИЯ В ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНОМ ДАТЧИКЕ ДАВЛЕНИЯ


Рассматривается напряженно-деформированное состояние в кварцекристаллическом чувствительном элементе (ЧЭ) пьезорезонансного датчика давления. Цель работы – создание точной математической модели пьезорезонансного сенсора для САПР датчиков давления данного класса и выявление резервов повышения их точности. В основе модели лежит метод конечных элементов и многофункциональный программный комплекс ANSYS. Исследуются влияние формы и геометрических размеров деталей, механических параметров материала соединительных элементов, анизотропии упругих свойств кварца и т.д. на распределение механических напряжений в мембране и тензочувствительном резонаторе ЧЭ.