Реферат: Міністерство освіти І науки, молоді та спорту України

Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України


Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна


Цикл наукових праць

на здобуття щорічної премії Президента України
для молодих вчених


РОЗРОБКА ТА ОПТИМІЗАЦІЯ ВАКУУМНО-ТЕХНОЛОГІЧНОГО ОБЛАДНАННЯ, ТЕХНОЛОГІЙ СИНТЕЗУ І ДОСЛІДЖЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ НАНОСТРУКТУР



ДЕРЕВ’ЯНКО Андрій Валерійович 

кандидат технічних наук, старший викладач Харківського національного університету імені В. Н. Каразіна







^ РАФАЛЬСЬКИЙ Дмитро В’ячеславович

кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник Наукового фізико-технологічного центру МОНмолодьспорту і НАН України







^ СТЄРВОЄДОВ Андрій Миколайович

кандидат технічних наук, старший науковий співробітник Наукового фізико-технологічного центру МОНмолодьспорту і НАН України







^ СУХОВ Руслан Володимирович 

кандидат фізико-математичних наук, старший викладач Харківського національного університету імені В. Н. Каразіна



Реферат


2012

Актуальність виконаних досліджень

Рівень сучасної техніки і технології вимагає створення нових матеріалів з широким спектром функціональних властивостей і стабільними робочими характеристиками. Оскільки традиційні металургійні засоби практично вичерпали себе, увага дослідників в останній час прикута до нанорозмірних об’єктів, що зумовлено їхніми унікальними властивостями. Наявність у наночастинок цих властивостей дає можливість створити на їх основі нові матеріали та пристрої з раніше недосяжними фізико-хімічними характеристиками, особливо у критичних умовах експлуатації. Такі матеріали також багато в чому обумовлюють успіхи сучасного приладобудування, оптики, мікромеханіки та інших проривних галузей промисловості.

Створення наноматеріалів із наперед заданими властивостями неможливе без чіткого розуміння фізичної суті процесів, що відбуваються в них. Наприклад, в нанорозмірних плівках оксинітридів перехідних металів, таких як титан і хром, спостерігається ще мало досліджена сильна залежність електричних, магнітних, оптичних і механічних характеристик від вмісту азоту і кисню, а також від присутності інших елементів. В той же час контрольоване відношення азоту до кисню в цих плівках під час їх синтезу приводить до великого функціонального діапазону їх застосування, як у якості зносо- і корозійностійких покриттів, так і в сучасній напівпровідниковій індустрії для створення принципово нових функціональних структур наноелектроніки. Майже не подані в літературі результати експериментального вивчення морфології, розмірної й температурної стійкості рідкої фази в бінарних плівкових системах евтектичного типу при малої товщині (менше 10 нм). Окрім того, немає спільної думки щодо механізму евтектичного плавлення, особливо на його початкової стадії. В той же час, саме шаруваті плівкові системи широко використовуються в сучасних технологіях, наприклад, в якості захисних високотемпературних покриттів, фоторезисту для створення масок у процесі виготовлення мікро- і наноелектронних схем, елементів мікро- і оптоелектроніки, багатошарових періодичних структур для рентгенівської оптики тощо. Дані про закономірності самоорганізації частинок при плавленні-кристалізації шаруватих плівкових систем на підкладці дають можливість формувати впорядковані нанодисперсні системи з наперед заданими параметрами, що може бути підґрунтям для розроблення пристроїв наступного покоління в оптиці, мікро- та наноелектроніці.

Процес синтезу плівок нанорозмірної товщини пов’язаний із жорсткими вимогами до якості структури одержуваних плівок, їх стехіометрії, наявності домішок і стабільності характеристик. При формуванні наносистем із потрібними властивостями, зокрема іонно-плазмовими методами, через надзвичайну чутливість нанооб’єктів до умов препарування, необхідно контролювати велику кількість фізико-технологічних параметрів, наприклад, таких, як енергія та струм іонів, температура підкладки, швидкість конденсації, тиск у вакуумній камері, склад залишкових газів, тощо. Тому, створення наноструктур із необхідними, заздалегідь прогнозованими геометричними та фізико-хімічнихними характеристиками, є досить складною багатопараметричною задачею, вирішення якої неможливо без використання сучасних автоматизованих систем управління процесом синтезу, без створення нових пристроїв для їх формування та вимірювання параметрів безпосередньо під час процесу.

Актуальність поданого циклу робіт також полягає в комплексному підході до вирішення ключового завдання сучасної фізики твердого тіла та матеріалознавства, коли фундаментальні дослідження процесів, що відбуваються в нанорозмірних функціональних структурах, базуються на якісній технічній підготовці експерименту, розробці нових приладів, нових прийомів і технологій синтезу та діагностики наноструктур.

^ Мета роботи

Метою роботи була оптимізація вакуумно-технологічних процесів і технологій синтезу нанорозмірних функціональних структур за допомогою розробки нових технічних рішень та проведення фундаментальних досліджень, а саме: розробки односітчастого джерела іонів та електронів на базі комбінованого індукційно-ємнісного розряду; дослідження процесів одночасного формування комбінованих потоків іонів і електронів в такому джерелі; встановлення закономірностей синтезу плівок Ti-O-N та Cr-O-N нанорозмірної товщини за допомогою джерела іонів методами іонно-променевого розпилення та іонно-стимульованого осадження у контрольованому вакуумному середовищі для оптимізації процесів одержання нанорозмірних функціональних плівок та наногетероструктур з наперед заданими властивостями; підвищення швидкодії і точності роботи систем управління процесами синтезу нанорозмірних структур; встановлення фізичних закономірностей утворення, розмірної та температурної стійкості рідкої фази в бінарних шаруватих плівкових системах евтектичного типу Ge-Au та зміни морфологічної структури конденсованих плівок чистих металів (Sn, Bi) і бінарних шаруватих плівкових систем (Sn-Bi, Au-Ge) унаслідок плавлення-кристалізації.

^ Наукова новизна отриманих результатів

Досліджено взаємодію плазми ВЧ індукційного розряду з іонно-пучковою плазмою через іонно-оптичну систему в односітчастому джерелі заряджених частинок, зокрема перехід між плазмовим та пучковим режимами роботи джерела.

Виявлено, що ефективність екстракції іонів за допомогою односітчастої екстракційної системи сильно залежить від потенціалу іонно-пучкової плазми в просторі транспортування пучка.

Визначено емісійні характеристики односітчастого джерела заряджених частинок з ВЧ зсувом плазми при одночасній екстракції іонів і електронів. Визначено енергетичні спектри заряджених частинок комбінованого іонно-електронного пучка; знайдено, що для спектрів характерний один низькоенергетичний пік електронів і два піки іонів.

Розроблено аналітичну модель імпедансу плазми ВЧ індукційного (ВЧІ) розряду для довільної товщини скін-слою.

Розроблена технологія синтезу плівок Ti-O-N нанорозмірної товщини осадженням в контрольованому вакуумному середовищі титану, який розпилюється пучком іонів Ar+ з енергією ≈ 5 кеВ та низькою щільністю іонного струму на мішені (10  15 мкА/см2). Створений комплекс апаратури вимірювання параметрів синтезу і мікроконтролерна система управління процесом осадження дали можливість надійно контролювати процес, досягти низької похибки заданої товщини плівки та її стехіометричного складу. Одержані ультратонкі (≈ 5 нм) суцільні плівки TiNx, TiNxOy на підкладках кремнію, оброблених безпосередньо перед осадженням пучком іонів аргону.

В єдиному вакуумному циклі «формування-дослідження» з використанням рентгенівської фотоелектронної спектроскопії високої роздільної здатності та кутовим розділенням проведено комплексне дослідження плівок TiNxOy нанорозмірної товщини, сформованих методом іонно-променевого розпилення. Показано вплив вакуумних умов під час синтезу на елементний склад та хімічний стан сформованих структур.

Експериментально встановлені залежності хімічного стану нанорозмірних структур Ті-N-O/Si від температури підкладки під час формування методом іонно-променевого розпилення та температурного відпалу. Визначено вплив температури росту плівок TiNxOy на формування міжатомних зв’язків азоту і титана. Показано, що, змінюючи температуру росту у інтервалі 25 ÷ 350 оС та температуру відпалу в межах 650 ÷ 750 оС, можливо прогнозовано впливати на стехіометричний склад та формувати як плівки TiNx, так і TiNxOy за однакових вакуумних умов.

Проведено дослідження впливу високоенергетичних іонів на склад та хімічний стан нанорозмірних плівок Cr-O-N при іонно-стимульованому осадженні. Показано, що осадження хрому одночасно з опромінюванням зростаючої плівки іонами азоту з Е = 30 кеВ та щільності струму 20 мкА/см2 при температурі підкладки Т = 200оС приводить до формування градієнтної структури з переходом по глибині плівки від Cr до CrN з виділеннями Cr2N та Cr2O3, концентрація яких зменшується із збільшенням глибини.

Розроблено та реалізовано алгоритми управління вакуумно-технологічними, зокрема іонно-променевими, процесами, що дозволило підвищити стабільність прогнозованого синтезу функціональних наноструктур.

Розроблено архітектуру систем управління процесами синтезу нанорозмірних структур, яка відрізняється розподіленням функцій управління між вузлами системи, що дозволило скоротити час відгуку системи.

Розроблено шаблон проектування для побудови екстрактора даних як компонента підсистеми збору даних в архітектурі управляючих систем нанотехнологічними процесами, що дозволило уніфікувати процес обробки інформації щодо параметрів процесів.

Удосконалено протокол логічного рівня для мереж управління нанотехнологічними процесами шляхом використання імітаційного моделювання для аналізу і оптимізації процесів передачі даних, їх обробки і зберігання.

Визначено критичну товщину контактного плавлення в бінарних шаруватих плівкових системах евтектичного типу, тобто товщина плівки одного з компонентів, що перебуває в контакті з товстою плівкою другого компонента, нижче за яку формування рідкої фази в системі при евтектичній температурі не відбувається.

Встановлено залежність температури плавлення евтектики Ge-Au на аморфній вуглецевій підкладці від товщини плівкової системи евтектичного складу.

В координатах «температура-розмір» побудовано діаграму, яка характеризує розмірну й температурну стійкість рідкої фази в шаруватих плівкових системах Ge-Au евтектичного складу.

^ Практична значимість отриманих результатів

З використанням результатів, отриманих при виконанні роботи, було розроблено і досліджено промислове широкоапертурне плазмове джерело комбінованого іонно-електронного пучка низької енергії. Основні параметри сконструйованого джерела: густина плазми (ВЧІ розряду) в плазмоутворюючому ступені до 1•1012см3, діаметр пучка 250 мм, щільність струму іонів на вході в іонно-оптичну систему 1-10 мА/см2; інтегральний струм іонно-електронного пучка до 3 А, ВЧ потужність 50-2000 Вт, енергія іонів 50-500 еВ. Досягнута висока однорідність пучка: неоднорідність струму пучка на діаметрі 250 мм склала ±5% для фреону. Серія експериментів по реактивній іонно-променевій обробці діелектричних і напівпровідникових матеріалів (робочий газ CF4), показала можливість анізотропної обробки структур з розміром менш ніж 70 нм, що свідчить про можливість успішного застосування даного джерела в сучасних мікро- і нанотехнологіях. Розроблене односітчасте джерело заряджених частинок з ВЧ живленням екстракційної системи може скласти конкуренцію джерелам нейтральних пучків в таких застосуваннях, як ALET (моноатомне травління) і ARDE removal (виключення залежності швидкості травління від аспектного співвідношення).

Розроблена та впроваджена на кафедрі фізичних технологій Харківського національного університету ім. В.Н.Каразіна технологія синтезу плівок нанорозмірної товщини за допомогою іонно-променевого розпилення металевої мішені з низькою щільністю іонного струму у контрольованому вакуумному середовищі дає змогу одержувати ультратонкі суцільні плівки нітридів та оксинітридів металів, а також обробляти та очищувати поверхню підкладки іонним пучком безпосередньо перед осадженням та проводити іонну стимуляцію процесу росту. Одержані за допомогою розробленої методики ультратонкі плівки та наногетероструктури на їх основі можуть бути використані в сучасній мікро- та наноелектроніці в якості високотемпературних контактів, дифузійних бар’єрів (TiN, Ti/TiN) та в оптоелектроніці (TiO2, TiNxOy).

Створено систему збору даних, що відрізняється наявністю екстракторів – підпрограм, що одержують дані з різних джерел. Розроблено комунікаційні протоколи фізичного і логічного рівнів, а також підібрано елементну базу для їх впровадження при побудові спеціалізованих розподілених систем управління процесами синтезу нанорозмірних структур. Створено ІУС для процесів синтезу нанорозмірних структур, що включає в себе окрім інтелектуальних кінцевих елементів і обчислювального центру програмований логічний контролер, що збільшує продуктивність роботи системи.

Одержані результати можуть бути використані для поглиблення знань щодо природи фазових перетворень «плавлення-кристалізація» в шаруватих плівкових системах евтектичного типу та дають можливість розглядати фізико-хімічні властивості таких систем не лише як суперпозицію властивостей окремих шарів, а як одне ціле з урахуванням фазової діаграми компонентів системи. Це важливо тому, що в сучасних технологіях особливо широко використовуються саме шаруваті плівкові системи, наприклад, захисні високотемпературні покриття, фоторезист для створення масок у процесі виготовлення мікро- і наноелектронних схем, елементи мікро- і оптоелектроніки, надґратки, багатошарові періодичні структури для рентгенівської оптики тощо. Дані про закономірності самоорганізації частинок при плавленні-кристалізації шаруватих плівкових систем на підкладці дають можливість формувати впорядковані нанодисперсні системи з наперед заданими параметрами, що може бути підґрунтям для розроблення пристроїв наступного покоління в оптиці, мікро- та наноелектроніки. Одержані результати можуть бути використані при створенні нових конкурентоспроможних пристроїв із використанням шаруватих плівкових систем, наприклад, нанорозмірних температурних сенсорів та електронних ключів з унікальними експлуатаційними характеристиками.


^ Структура циклу

Цикл наукових праць “Розробка та оптимізація вакуумно-технологічного обладнання, технологій синтезу і дослідження функціональних наноструктур” виконувався протягом 2003–2011 років і складається з 29 статей, зокрема 5 — у журналах з ненульовим імпакт-фактором (середній імпакт-фактор журналів 1,84), що є в базі даних SCOPUS, та 3 Патентів України.


^ Основні науково-технічні результати

Розробка та дослідження односітчастого джерела іонів та електронів на базі комбінованого індукційно-ємнісного розряду

Зі всього різноманіття джерел заряджених частинок різних типів і параметрів створюваних ними пучків в окрему групу виділяються системи, що використовуються в технологіях мікро- та наноелектроніки [1]. У таких системах, як правило, використовують низькоенергетичні пучки іонів (50-500 еВ) великого перетину (до 2000 см), які транспортуються на невеликі відстані (10 – 20 см) [1]. Для формування таких пучків використовуються плазмові джерела іонів, в яких генерація іонів відбувається в об'ємі газового розряду, а їх витягання – з межі плазми [1]. Для нейтралізації струму пучка при обробці діелектричних мішеней за допомогою таких джерел необхідно використовувати окремий пристрій – нейтралізатор, який часто має обмежений термін експлуатації і потребує використання додаткових джерел живлення [1]. Разом з тим, відоме унікальне односітчасте джерело заряджених частинок на базі комбінованого високочастотного (ВЧ) індукційно-ємнісного розряду, що забезпечує одночасне витягання іонів і електронів і дозволяє відмовитися від застосування додаткового нейтралі­затора. Це джерело було розроблено в ХНУ імені В.Н. Каразіна і на цей час не має аналогів у світі. Не дивлячись на переваги односітчастих джерел заряджених частинок, вони практично не викорис­товуються в промисловості, що безпо­середньо пов'язано з їх недостатньою вивченістю.

У даній роботі показано, що на процеси формування потоків іонів і електронів в односітчастих системах впливає взаємодія двох плазм – плазми ВЧ індукційного розряду і іонно-пучкової плазми. Були розглянуті умови, що приводять до обміну зарядженими частинками між даними плазмами. Для випадку постійного потенціалу плазми ВЧІ розряду запропоновано розрізняти два режими роботи односітчастого джерела заряджених частинок: пучковий і плазмовий, перехід між якими відбувається при деякому критичному потенціалі плазми ВЧ індукційного розряду φcr. Експериментальні вимірювання показали, що в плазмовому режимі потенціал іонно-пучкової плазми φIBP близький до потенціалу плазми ВЧІ розряду φICP, енергія іонів в просторі транспортування не перевищує декількох електрон вольт, а їх основне прискорення відбувається тільки в шарі просторового заряду безпосередньо поблизу мішені.

Були проведені дослідження закономірностей формування потоків іонів і електронів в системах з односітчастою ІОС з ВЧ зсувом. В цьому випадку, крім безперервного іонного потоку в іонно-пучкову плазму, існує пульсуючий потік електронів, який і забезпечує повну токову компенсацію пучка. Це обумовлено осциляцією потенціалу плазми в плазмоутворюючому ступені з частотою ВЧ поля, в моменти мінімуму потенціалу електрони можуть вільно проникати в простір транспортування пучка через екстракційні отвори в сітці джерела. Були зміряні комбіновані іонно-електронні енергетичні спектри пучка (рис. 1). Для спектрів є характерним присутність низько­енергетичного піка електронів і двох піків іонів – низькоенергетичного, що відповідає іонам з іонно-пучкової плазми, положення якого визначається потенціалом φIBP, та високоенергетичного піку іонів пучка поблизу енергії eφICP, що як правило має двовершинну форму, обумовлену прискоренням іонів у ВЧ шарі [2].


Синтез нанорозмірних плівок нітридів та оксинітридів перехідних

металів за допомогою джерела іонів

Нітриди перехідних металів, а також структури на їх основі мають велике фундаментальне і прикладне значення, та представляють значний технологічний інтерес [3]. Узагальнення наукових даних показує переваги вибору методів іонно-променевого розпилення та іонно-стимульованого осадження для формування нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N , тому в даній роботі були проведені експерименти з синтезу нанорозмірних плівок TiNx, TiNxOy та Cr-O-N вищезгаданими методами.

Для проведення експериментів було вдосконалено багатокамерну установку, яка має в своєму складі три високо­вакуумні камери з’єднані між собою вакуумними шлюзами, встановлені плазмове іонне джерело з холодним катодом, мішень з титанової фольги чистотою 99,99% та система для напуску азоту, прилади діагностики пучків іонів та атомно-молекулярних потоків в вакуумі. Іонне джерело було встановлено з можливістю зміни під час експерименту напрямку іонного пучка, що дало можливість перед розпиленням очищувати іонами як мішень, так і поверхню підкладки.




Рис. 2. РФЕС спектри поверхні зразка TiNxOy в процесі експерименту.
Плівки Ti-O-N нано­розмірної товщини (≈ 5 нм) були одержані методом іонно-променевого розпилення. Титан розпилявся іонами аргону з енергією 5 кеВ і струмом на мішені 15 мкА при діаметрі іонного пучка 10 мм. Вакуум у підготовчій камері створювався турбо­молеку­лярним насосом і до включення іонного джерела тиск складав 5,5·10-6 Па.

Для одержання плівок нітриду титану після запуску іонного джерела в камеру напускався азот зі ступенем чистоти 99,99%. Плівки Cr-O-N товщиною ≈ 100 нм одержувались методом іонно-стиму­льованого осадження. Хром чистотою 99,98% осаджувався на алюмінієву підкладку (Al чистотою 99,995%) при швидкості осадження 0.05-0.1 нм/сек, енергії пучка асистуючих іонів N+E = 30 кеВ, щільності струму j = 20 мка/см2, температурі підкладки Т = 200 оС.

На рис. 2 за допомогою метода рентгенівської фотоелектронної спектроскопії показано елементний склад та хімічний стан плівок TiNxOy під час синтезу та температурного відпалу.

При формуванні тонко­плівкових структур з викорис­тан­ням іонно-стимульованого осадження було досліджено механізми нако­пичення елементів залиш­кового вакуумного середовища в синте­зованих під опроміненням плівках, а також роз­поділ по глибині плівки як даних елементів, так і імплантованих іонів. Для дослідження впливу попе­редньої іонної обробки на склад пере­хідної зони плівка-підкладка частина зразків перед осадженням опроміню­валась іонами азоту з E = 30 кеВ до дози 1,5∙1017 іон/см2. В роботі представлені результати дослід­ження методом оже-електронної спектро­скопії поверхні зраз­ків після іонної імплантації та іонно-стимульованого осад­ження хрому. В результаті опро­мі­нювання матеріалу високо­енергетичними іонами відбу­вається посилена ад­сорбція на поверхні газових молекул із залиш­кової атмос­фери вакуумної камери, їх дисоціація і дифузія всередину криста­ліч­ної ґратки, що, привело до насичення зразків киснем.


Інформаційні технології та інструментальні засоби побудови автоматизованих систем управління синтезом нанорозмірних структур

Структура ІУС, що використовуються у напрямках, де робота оператора без застосування таких автоматизованих засобів неможлива, містять у собі наступні основні компоненти: обчислювально-аналітичний центр (ОАЦ), система збору даних (СЗД), система зберігання даних, програмні засоби обробки всіх отриманих даних та зворотній зв’язок, представлений елементами управління, здатними контролювати та підтримувати параметри об’єкта або процесу.

Для управління нанотехнологічними процесами найбільший інтерес викликає використання ІУС, що забезпечують необхідні параметри протікання процесів і необхідну повторюваність експерименту. Найбільш ефективним є використання моделей контрольованих процесів. Для управління НП необхідно синтезувати модель протікання процесу, причому оптимальним способом її отримання є обробка результатів пасивного експерименту, збережених у спеціально розробленому сховище, яке забезпечує швидкий доступ до історичних даних. Після отримання необхідної кількості експериментальних даних і переходу до складання моделі, управління може переходити в активну фазу управління процесом. Центральним елементом ІУС є СЗД. Модель СЗД класичної ІУС НП може бути зображена у вигляді кортежу , де – множина вузлів СЗД, – множина зв’язків між ними, – множина інтерфейсів СЗД. Для класичної архітектури . Розподілення функцій синтезу управляючих моделей та управління між вузлами системи дає змогу зменшити кількість викликів до .

Задача підвищення шіидкодії систем управління досягається також шляхом використання нового логічного протоколу передачі даних. Для визначення складу і величини полів формату був використаний як відомий аналітичний підхід, так і імітаційне моделювання роботи системи у відповіднім ПЗ. Для оптимізації роботи модуля зберігання даних була створена СОД, що приводить різнорідні дані до одного формату при приміщенні в сховище. Для створення уніфікованого екстрактора для СЗД до його складу була включена онтологія простору параметрів НП . Запропоновані методи зменшення кількості даних в сховищі: фільтрація, вертикальне скорочення, горизонтальне скорочення та сегментація. На підставі даних, що залишилися будуються функціональні залежності між факторами. ПЛК, що входить до її складу системи був створений самостійно. На користь власної розробки ПЛК виступила не завжди задовільна перешкодозахищеність роботи промислових ПЛК при управлінні вакуумно-плазмовими процесами. Модулі системи можуть бути задіяні у різній кількості в залежності від задачі: від сисстеми збору даних для автоматизації роботи растрового електронного мікроскопу до повноцінної мікроконтролерної системи управління процесом формування іонного пучка для травлення наноструктур, коли часи, з якими необхідно працювати порядку декількох мікросекунд, і ефективне управління неможливе при використанні класичних ІУС.


Розмірні ефекти при плавленні/кристалізації в одно- і двошарових плівкових системах




Рис. 3. Залежність температури евтектики ТE (○) та температури кристалізації Тg (●) у плівковій системі Ge-Au від загальної товщини плівкової системи евтектичного складу h (– евтектична температура для масивних зразків)
Однією з актуальних проблем фізики конденсованого стану є синтез нанодисперсних систем з наперед прогнозованими властивостями. У даному розділі наведено результати експериментальних досліджень морфологічної структури острівцевих плівок Bi, Sn та Bi Sn евтектичного складу на аморфній вуглецевій підкладці, препарованих шляхом конденсації за механізмом «пара-кристал» та наступного нагрівання до температури плавлення. Показано, що для досліджуваних систем коефіцієнт заповнення підкладки є немонотонною функцією товщини. При цьому існує масова товщина h1, за якої коефіцієнт заповнення підкладки має максимальне значення. Електронно-мікроскопічні дослідження вказують на те, що h1 відповідає масовій товщині, за якої у вихідних плівках, препарованих на підкладці при кімнатній температурі, між окремими острівцями конденсованої фази з’являються контакти. Установлено, що острівцеві системи, сформовані внаслідок плавлення досліджуваних вакуумних конденсатів, із масовими товщинами, більше і менше h1,мають різний характер розподілу острівців за розмірами.

Так, при плавленні плівок з масовою товщиною, меншою за h1, на підкладці утворюються системи острівців з одно­модаль­ною функцією розподілу острівців за розмірами і з практично однаковою їхньою формою. При плавленні плівкових систем із масовою товщи­ною, більшою за h1, формуються системи острівців, невпорядкованих за розмірами: на мікрофо­тографіях видно велику кількість дрібних частинок та великі острівці, що утворюються за рахунок дії капілярних сил при плавленні та в яких зосереджена основна маса плівки. Установлено, що зі збільшенням масової товщини плівкових систем розмір острівців, у яких зосереджено основний об’єм плівки, нелінійно зростає, а число острівців на одиницю поверхні  зменшується, що дає можливість формування нанодисперсних острівцевих систем із наперед заданими морфологічними характеристиками.

Закономірності про­це­сів «плавлення / кри­сталізація»для чистих ма­те­ріалів у достатній мірі вивчені та висвітлені у літературі [4, 5]. Даних такого роду щодо фазових переходів у бінарних системах у літературі набагато менше. На підставі виконаних у цьому розділі досліджень побудована діаграма фа­зових перетворень «ріди­на-кристал» (рис. 3), яка характе­ризує розмірну та темпера­турну стійкість рідкої фази в шаруватій плівковій системі Ge Au евтектичного складу. Показано, що температура евтектики Ge Au та температура переходу від механізму кон­ден­сації «пара-рідина» до ме­ха­ніз­му «пара-кристал» [6] при кон­ден­сації золота на плівку аморфного германію мають роз­мірну залеж­ність та зменшу­ються з масо­вою товщиною плівкової системи (рис. 3). Точки з найменшою товщиною для розмірної залежності як ТE, так і Тg на рис. 3 отримані внаслідок зіставлення температури, при якій у плівковій системі вже наявний кристалічний Ge, а отже, відбувається формування рідкої фази і її наступна кристалізація, та критичної товщини плівки Au, починаючи з якої в шаруватій системі Ge-Au формується рідка фаза. Координати обох точок майже збігаються. Отже, при температурі ~120ºС і товщині плівкової системи Ge-Au евтектичного складу ~0,3 нм формування рідкої фази в системі відбувається без переохолодження.


Перелік цитованої літератури

Brown Ian G. The Physics and Technology of Ion Sources: Second, Revised and Extended Edition / Brown Ian G. – New York: Wiley-VCH, 2004.

Rossnagel S.M. Film modification by low energy ion bombardment during deposition / S.M. Rossnagel, J. J. Cuomo // Thin Solid Films, 1989.–V.171.–P.143-156.

TiN thin films deposited by ion beam sputtering: effects of energetic particles bombardment / N. Popovic, Z. Bogdanov, B. Goncic, S. Zec, Z. Rakocevic, M. Zlatanovic, D. Perusko // Thin solid films. -2004. - Vol. 459. - P.286-291.

Поверхностные явления и фазовые превращения в конденсированных пленках / [Гладких Н. Т., Дукаров С. В., Крышталь А. П. и др.]; под ред. Н. Т. Гладких. – Х. : ХНУ имени В. Н. Каразина, 2004. – 276 с.

Mei Q. S. Melting and superheating of crystalline solids: From bulk to nanocrystals / Q. S. Mei, K. Lu // Progress in Materials Science. – 2007. – V. 52. – P. 1175–1262.

Gladkich N. T. Supercooling during metal crystallization under conditions close to weightlessness using island vacuum condensates / N. T. Gladkich, S. V. Dukarov, V. N. Sukhov // Zeitschrift für Metallkunde. – 1996. – V. 87, № 3. – Р. 233–239.